- Стоимость:
- от 30 000 000 ₽
- Состояние:
- новый
- Год выпуска:
- 2 023
- Документация:
- увн_74п-3м-2.jpg
- Местоположение:
- Калининград
- Продавец:
- АО "КВАРЦ"
- Контакты продавца:
- главный конструктор Черных Юрий Олегович, тел. +7 962 250 28 47
Особенности:
безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
ионно-плазменная очистка подложек;
контроль напыляемого слоя по системе зеркал;
пневматический привод заслонки ;
безшестереночный барабан вращения подложек;
регулируемый по скорости привод барабана;
изменена конструкция коллектора для передачи информации о температуре и сопротивлении «свидетеля»;
высоковакуумный тарельчатый затвор заменен на шиберный затвор.
Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.
Основные технические характеристики:
Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 60;
Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60.
Вернуться к списку